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メンテナンスFAQ
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不具合は、状況によりさまざまな要因が関連づけられています。
その代表例として書かせて頂きます。 不具合の解消の足がかりとして参考にしていただければ幸いです。
自動調圧が正常に作動しない。
1. 研磨室入り口に装着された投入センサーが正常に働いているか確認してください。
2. 搬送ローラーの回転状態を検出するセンサーが正常に働いているか確認してください。
研磨時基板が滑ってしまう。
1. 押さえローラー両端の回転メタル(樹脂メタル)が摩耗していないか確認してください。
2. 搬送駆動チェーンが伸びたり緩んだりしていないか確認してください。
(MDS‐***F)
3. 搬送ローラ軸受ベアリングが破損していないか確認してください。
4. バックアップローラのベアリングが破損していないか確認してください。
研磨調圧のタイミングがずれている
1. 研磨層内入り口にある投入センサーが正常に働いているか確認してください。
2. 搬送ローラーの回転常態を検出してるセンサーが正常に働いているか確認してください。
3. 基板が滑っていないか確認してください。
ペーパー外れエラーが発生する。(ベルトサンダー)
1. ペーパー用のセンサーは、正常に働いているか確認してください。
2. オシレーションシリンダーは、正常に働いているか確認してください。
3. テンションローラーベアリングが破損していないか確認してください。
(テンションローラーにガタがないか確認してください。)
研磨時基板が斜めになってしまう。(バイブレーションサンダー・ベルトサンダー)
1. 押さえローラー両端の回転メタル(樹脂メタル)が摩耗していないか確認してください。
2. 押さえローラーが摩耗していないか確認してください。
3. 搬送ベルトの表面が滑りやすくなっていませんか?    
(定期的な交換が必要です。交換も含め検討してください。)
主軸部の音が大きくなってきている。
1. 主軸の潤滑オイルが正常に潤滑しているか確認してください。
(MDS‐***F)
2. 主軸ベアリング・オシレーションベアリングが劣化していると思われます。
(定期的な交換が必要です。交換も含め検討してください。)
潤滑オイルがベアリングケース下の受け皿に溜まる。(MDS‐***F)
1. バフ交換時に取り外す、ワンタッチジョイントのホースが外れていませんか?
2. ワンタッチジョイントが壊れていないか確認してください。
3. バフ交換時に取り外す、ワンタッチカプラ部よりオイル漏れがないか確認してください。
4. 主軸ベアリングケースのオイルシールの劣化によりオイル漏れがないか確認してください。
(定期的な交換が必要です。交換も含め検討してください。)
バフが偏摩耗する。(MDS‐***F・FBR)
1. バックアップベアリングが破損していないか確認してください。
2. 搬送ベアリングが破損していないか確認してください。
3. 基板が滑っていないか確認してください。
4. バックアップ昇降・主軸昇降にガタが発生していないか確認してください。
過負荷エラーが発生する。(MDS‐***F・FBR)
1. 研磨層内入り口にある投入センサーが正常に働いているか確認してください。
2. 搬送ローラーのギアーの歯を数えているセンサーが正常に働いているか確認してください。
3. 研磨のタイミングがずれていないか確認してください。
4. バックアップベアリングが破損していないか確認してください。
5. 搬送ベアリングが破損していないか確認してください。
ベルトサンダーにて黒化処理基板に研磨むらが発生する。
1. コンタクトローラーが摩耗していないか確認してください。
(定期的な交換が必要です。交換も含め検討してください。)
2. 搬送ベルトの表面が摩耗していないか確認してください。    
(定期的な交換が必要です。交換も含め検討してください。)
3. コンタクトローラー用ガイド樹脂プレートが摩耗していないか確認してください。

※コンタクトローラーの摩耗がないようでしたら応急処置として、#80ペーパーにて
コンベアーベルトを 研磨にて平行を取ることにより研磨むらが直る場合も有ります。

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